Système de vide avec pompe à vide VRD16 pour système CVD

I. Aperçu

Le système

(peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration

(auto-fabriqué) avec interface KF25, méthode de déflecteur sous vide poussé, vide de résistance

manomètre, soufflet, support (fait maison), pompe à vide Connecter le tuyau en T au

sortie de bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies,

connectez la vanne à clapet à vide poussé à l'autre extrémité, connectez le clapet

Valve et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 rapide

pince pour le port de connexion. .

2. Système de détection de pression

Résistance simple de type ZDR-I/ZDR-I-LED

jauge à vide

Le vacuomètre à résistance

(également connu sous le nom de vacuomètre Pirani) utilise un ZJ-52T spécialement stabilisé

jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la

puissance constante. En même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler le

non linéarité de la régulation. Traitement linéaire. Il a les caractéristiques

de performances stables, large plage de mesure, réponse rapide et petite dérive. Et

commande de relais puissante et fiable basée sur un microprocesseur, communication série

sortie, sortie analogique sous vide et autres fonctions. Particulièrement adapté pour

mesure du vide grossier et faible et contrôle des applications de vide.

Paramètres techniques:

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Régulation de la distribution : jauge de résistance ZJ-52T

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Plage de mesure : 10 5～10 -1 Pa

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Isolation optique, filtrage numérique, capacité anti-interférence améliorée.

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