Système CVD de laboratoire avec four tubulaire rotatif à double zone 1500-1500C

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Les détails du produit

Système CVD de laboratoire avec four tubulaire rotatif à double zone 1500-1500C

Le système CVD se compose d'un système d'alimentation en gaz + four tubulaire + système de vide, et la température maximale peut atteindre 1200 degrés, 1400 degrés, 1600 degrés et 1700 degrés. La zone de chauffage peut être une zone à température unique, une zone à double température, une zone à trois températures, etc. Le vide ultime peut atteindre 10-3 Pa. Le système d'alimentation en gaz peut être un débitmètre massique ou un débitmètre à flotteur pour la régulation du débit. Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux.

Paramètres techniques détaillés

Modèle	1500-1500-I 1500-1500-II
Du pouvoir	9KW 9KW
Tube	Taille
Dia	60(OD) X1400 mm Diamètre 80(OD) X1400 mm
Fournir	tension
380 V 380 V	Phase
biphasé biphasé	Tube
Tube corindon : AIO haute pureté	céramique (dont) 99,5%
Chauffage	élément
Première	zone de température : tige de carbone de silicium Deuxième zone de température : tige de carbone de silicium
Vitesse de rotation des tubes du four	Avec moteur à vitesse variable en continu,
la vitesse peut être ajustée entre (1-25 RPM)	Puissance du moteur 40W Le four peut être incliné à un angle 0-30 degrés Type de conduite Courroie crantée et pignon Contrôler mode Instrument de contrôle de la température du programme UAV
(la norme)	1, contrôle de la température du programme en 30 étapes réglage PID intelligent.
2. Avec protection contre la surchauffe, le	le circuit de chauffage du four est automatiquement coupé lorsque la température est
surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse	1520 degrés ou le thermocouple est soufflé, le relais AC sur le circuit principal
sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est interrompu. Allumé, l'ON	Le voyant du panneau est éteint, le voyant OFF est allumé et la protection limitée
four électrique).	3, avec interface de communication 485 (standard
lors de l'achat d'un logiciel)	4, avec fonction de protection contre la mise hors tension, qui
est, lorsque l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme	ne part pas de la température de départ, mais de la température du four
augmente à partir du moment de la panne de courant.	5, le compteur a la fonction d'auto-réglage de la température
(vous devez payer un supplément pour le remplacement	d'instruments importés, facultatif)
Appareil FP93
Appareil EUROTHERM	Écran tactile
instrument	(shimaden, Japon)

Matériau du four

1. Alumine polycristalline de haute pureté de haute qualité

four de durcissement des fibres formé par filtration sous vide.

2. Adoptez la technologie japonaise pour le moulage.

Contrôler

précision

+/- 1℃

Gâchette

Déphasé

gâchette

Électrique

appareil

Zhejiang

puce

Silicium

contrôlé

106/16ESEMIKRON

température la plus élevée dans les première et deuxième zones de température

1500℃

Noté

température dans les première et seconde zones de température

1400℃

Chauffage

évaluer

≤20℃/ Min (il peut être modifié au besoin)

Recommandé

vitesse de montée en température

≤10℃/minute

Thermocouple

S tapez le premier

zone de température

tapez dans la deuxième région de température

Longueur

de section de chauffage dans les première et seconde zones de température

300+300 mm 300+300 mm

Durée de température constante

450 mm 450 mm

Alimentation en air à trois canaux Gx-3 (mélange

air) système

1.1. Le gaz sort du cylindre, est

dépressurisé par un réducteur de pression, passe à travers le tube PTFE

à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis traverse le débit massique

compteur pour contrôler le débit de gaz, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et

pénètre ensuite dans l'entrée du four. 1.2. 2)	Un manomètre est fixé au réservoir de mélange de gaz et le manomètre	le disque d'affichage et le contrôleur du débitmètre à protons sont installés sur le même
	panneau.	1.3.
	Chaque conduite de gaz est équipée d'une vanne d'arrêt haute pression pour plus de sécurité.	1.4.
	Le chemin de gaz adopte un débitmètre massique de gaz de haute précision, et l'intérieur du	le chemin de gaz est entièrement constitué d'un tuyau en acier inoxydable, qui a une bonne corrosion
	la résistance. 1.5.	Tous les joints de la boîte sont reliés par des viroles en acier inoxydable, qui ont	bonne étanchéité à l'air et résistance aux hautes pressions.
		2. Paramètres techniques :	Canal pneumatique : 3
		Contrôle du débit de gaz :	Débitmètre massique.
		Dimensions de l'armoire :	600X600X600mm
		Débitmètre massique	paramètres techniques:
		Interface : Φ6	Affichage : DEL
		Température de l'environnement de travail : 5~45°C	Contrôleur de débit :
		Paramètres du contrôleur de flux de protons Veuillez vérifier à nouveau	Tube en acier inoxydable :
		Φ6 en dehors de X Φ4	Vide sous pression
		tableau : -0,1～0,15 MPa, 0,01	MPa/département
	Vanne d'arrêt : Φ6 Contrôle de flux : API contrôle intelligent	功率	3. Débitmètre massique
		电压	paramètres techniques:
		转速	Produit
		Nom : contrôleur de débit massique	Produit
		Description : Type normal, circuit analogique	6
		Produit	Détails : Ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à
	bloquer. Principal	indicateurs : Gamme : 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10	SLM (vous pouvez choisir la gamme arbitrairement)
		•	Précision : ±1 % FS
		•	Linéaire : 0,5 % F.S
		•	Répétabilité : ±0,2 % FS
		•	Temps de réponse : 1S
		•	Chute de pression d'air : <0,01 MPa
	•	Pression maximale : 3MP	•
		Température de l'environnement de travail : 5～45°C	•
		Signaux d'entrée et de sortie : 0 ~ + 5,00 V	•
		Alimentation : +15V 50mA -15V 50mA	•