système, un système d'alimentation en gaz et un système d'alimentation à radiofréquence. Surtout

utilisé pour : la croissance de couches minces métalliques, de couches minces céramiques, de couches minces composites,

graphène, etc. Il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que

nettoyage au plasma et gravure. Le système PECVD présente les avantages d'un film à haute

taux de dépôt, bonne uniformité, consistance et stabilité élevées.

Technique détaillée

paramètres

Modèle

TL1600-I

Du pouvoir

5KW

Taille du tube (OD) (mm)

Tube en corindon de haute pureté : 60 mm (diamètre du tube)

Deux bouchons de four sont placés de chaque côté. La

le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four

et doit être placé dans la bonne position dans le four avant de chauffer.

Dimension

1120X490X855

tension d'alimentation

220V

phase

monophasé

élément chauffant

Barre de silicium molybdène modèle 1800

Type de contrôle de la température

Utilisation

Instrument de contrôle de la température du programme Yudian (standard)

1.

Réglage PID intelligent du programme de contrôle de la température à 30 segments.

2.

Avec la protection contre la surchauffe, le circuit de chauffage de la fournaise électrique

Être automatiquement coupé lorsque la température est en surchauffe ou lorsque le

le couple est rompu. ON, le voyant ON du panneau est éteint, le voyant OFF est allumé,

et la fournaise électrique est protégée de manière limitée).

3.

Avec interface de communication 485 (standard avec logiciel en option)

4.

Il a une fonction de protection contre les pannes de courant, c'est-à-dire lorsque le four est

sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas à partir du

température initiale, mais commence à partir de la température du four lorsque la puissance

est éteint.

5.Le

Le compteur a la fonction d'auto-réglage de la température

(vous devez payer un supplément pour le remplacement des produits importés

instruments, facultatif)

Instrument FP93                             Instrument EUROTHERM                       Écran tactile

instrument

(shimaden, Japon)

Matériau de la chambre

1. Le matériau du foyer est de haute qualité

fibre polycristalline d'alumine.

2. La surface du four intérieur est recouverte de

revêtement d'alumine à haute température de 1800 degrés importé, ce qui peut augmenter le

émissivité et rendre le champ de température plus équilibré.

Vannes et brides

précision de contrôle

affichage numérique de l'écran.

Adopter

Pompe à vide VRD16

VRD16

Terme technique

spécification

VRD-16

Vitesse de pompage m³/h（L/s）

puissance du moteur (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Connexion entrée/sortieDN

KF25

contrôleur de débit est utilisé, veuillez voir le dos